当一个方向上的长度小于其他两个方向上的长度时，该结构称为薄膜。如今，微电子膜，光学膜，抗氧化膜，巨磁阻膜，高温超导膜等在工业生产和人类生活中的连续应用，工业生产的膜的厚度是一个非常重要的参数，直接这与薄膜材料能否正常工作有关。
通常，膜的厚度是指基板的表面与膜的表面之间的距离。实际上，膜的表面是不平坦且不连续的，并且在表面上存在针孔，微裂纹，纤维丝，杂质，晶格缺陷和分子。例如，由于电路集成度的不断提高和薄膜厚度的任何细微变化，大规模集成电路生产过程中的各种薄膜将直接影响集成电路的性能。另外，薄膜材料的机械性能，透光性能，磁性，导热性，表面结构等与厚度密切相关。因此，在生产过程中准确在线测量膜厚是保证产品质量和提高生产效率的重要手段。

为了精确测量薄膜厚度，取决于所使用的厚度传感器。目前，在线膜厚检测技术主要有几种方法：

1. Beta探针是最早用于薄膜检测的传感器。它使用β辐射源作为信号源，技术成熟。但是，需要使用放射源的许可证，并且进出口程序相对复杂。使用寿命有半衰期限制，并且随着放射源的衰减，检测精度会降低。

2.红外探头使用这样的原理：特定的塑料薄膜会强烈吸收特定的红外波段，以测量薄膜的厚度。该传感器检测稳定，不受环境变化的影响，但对添加剂和颜色的变化敏感，因此不适合在同一条生产线上生产多种产品。

3. X射线探头使用X射线管产生X射线作为信号源，以检测塑料膜的厚度。有许多优点：飞行放射性物质；低能耗不需要许可证；测量范围广；测量精度高；可以测量各种塑料而不受添加剂和色母的影响。

目前，膜厚测量仪已经发展到高精度和自动化程度，并达到了很高的水平。其测量精度为普通膜层的测量膜厚的±2％至±5％，对于薄膜为±2nm，并具有微面积测量功能，快速的测量速度和高度的自动化程度。特别是随着技术的进步和精密仪器的应用，除上述检测技术方法外，还可以通过超声波传感器来测量膜的厚度。工彩-MB7480推荐的MaxBotix超声波传感器是高性能超声波精密测距仪，可以在空中提供高精度和高分辨率的超声波测距。